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金屬污染物在線監(jiān)測

萊伯泰科的 ICP-MS 產(chǎn)品可與多家供應(yīng)商的自動化在線半導(dǎo)體制程化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)集成。在化學(xué)品供應(yīng)中心、分配過程以及使用過程中，對制程化學(xué)品中的金屬雜質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測。實(shí)時(shí)在線監(jiān)測能夠在工藝的各階段迅速檢測到金屬污染，從而完成快速評估正等待從貯罐卸載的化學(xué)品的質(zhì)量的檢測和生產(chǎn)需求。

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